SEMの基礎

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SEM病理組織解析データベース

目次

2. サンプリング

• （1）サンプリングのツール
• （2）低真空SEM（卓上型SEM）用のサンプリング
• （3）一般的なサンプリング（高真空SEM）

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一般教養偏

2. サンプリング

SEMで観察するための試料作製方法（サンプリング）を紹介します。

（1）サンプリングのツール

試料台	試料を載せる試料台には、一般に非磁性体であるアルミニウムなどが用いられます。試料台には様々なサイズと形状があり、観察目的（断面観察など）に応じて選びます。
カーボン両面テープ	試料を試料台に固定する時に使用します。2万倍以下の倍率で観察する時に便利です。導電性両面テープにはカーボン（C）、銅（Cu）などがありますが、主としてカーボンテープが用いられます。
カーボンペースト	導電性ペーストは試料をしっかり固定できるため、2万倍以上の高倍率観察に適しています。導電性ペーストにはカーボン（C）、銀（Ag）などがありますが、主としてカーボンペーストが用いられます。ただし有機溶剤で変質する試料には、水溶性のペーストを使用してください。試料台にペーストをつける際は、ようじや竹串を使うと便利です。
ピンセット	試料表面を触らないように、サンプリングするときに使用します。
ブロア	粉体試料のサンプリング後、余分な試料を払い落としたり、試料表面や断面のゴミを除去するために使用します。

（2）低真空SEM（卓上型SEM ）用のサンプリング

（3）一般的なサンプリング（高真空SEM）

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