サイト名称 日立ハイテク

イオンミリングを用いたSEM観察試料断面作製のメリットとアプリケーションのご紹介

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セミナー種別 週刊ミニWebinar
講演タイトル イオンミリングを用いたSEM観察試料断面作製のメリットとアプリケーションのご紹介
講演者 株式会社日立ハイテク ナノテクノロジーソリューション事業統括本部 解析ソリューション開発部　振木 昌成
概要 微細化、複雑化が進む試料構造の評価に対して、イオンミリングによる断面作製が広く用いられています。
イオンミリングは無応力での試料加工が大きな特徴で、電子部品や金属セラミックスなどの材料評価、医薬品／食品、生物試料など多岐にわたり試料断面作製が可能です。
本講演では一般的な試料前処理の基礎とイオンミリングによる優位点、最新アプリケーションについてご紹介いたします。
イオンミリングの概要紹介から装置を使用する上でのポイントなども紹介させていただきます。
まだイオンミリングをお使いでない方もぜひご参加ください。
関連製品 TEM/SEM試料前処理装置
セミナー開催日 2022/10/20(木)
公開日(yyyy/㎜/dd) 2023/05/09
講演時間 約25分
聴講