サイト名称 日立ハイテク

SEM、AFM、CSI、イオンミリングを組み合わせた解析ソリューション

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セミナー種別 材料解析テクノフォーラム
講演タイトル SEM、AFM、CSI、イオンミリングを組み合わせた解析ソリューション
講演者 株式会社日立ハイテク
概要 SEM、AFM、白色干渉顕微鏡（CSI）の同一箇所観察により、電子部品や先端材料の研究開発や品質管理の現場で課題解決した事例や、イオンミリングによる断面加工などの前処理含めたAFM物性測定例など、複数装置間にわたる日立ハイテク連携ソリューションをご紹介します。
関連製品 走査電子顕微鏡（SEM）; 走査型プローブ顕微鏡（AFM/SPM）; ナノ3D光干渉計測システム（CSI）; TEM/SEM試料前処理装置
セミナー開催日 2023/08/02(水)
公開日(yyyy/㎜/dd) 2023/09/06
講演時間 約17分
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