サイト名称 日立ハイテク

☆AFM電気特性評価の最前線☆半導体故障解析/MLCC/電池などの電気特性評価に適した前処理から解析・データ解釈まで

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セミナー種別 新技術セミナー
講演タイトル ☆AFM電気特性評価の最前線☆半導体故障解析/MLCC/電池などの電気特性評価に適した前処理から解析・データ解釈まで
講演者 株式会社日立ハイテク コアテクノロジー＆ソリューション事業統括本部 CTシステム製品本部 CTソリューション開発部 表面構造解析グループ　相蘇 亨
概要 AFMの電気特性評価には、前処理やデータ解釈など多くの課題があります。
そこで電気測定に適した前処理やデータ解釈、高感度化やSEMとの相関解析について、半導体やMLCC、電池などの最新事例を紹介します。
関連製品 走査型プローブ顕微鏡（AFM/SPM）
セミナー開催日 2023/09/06(水)
公開日(yyyy/㎜/dd) 2023/12/20
講演時間 約35分
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