サイト名称 日立ハイテク

☆3D計測の幅を広げよう☆様々な手法の3D形状計測の使い分けと複数顕微鏡によるリンケージ機能を用いた解析事例のご紹介

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セミナー種別 新技術セミナー
講演タイトル ☆3D計測の幅を広げよう☆様々な手法の3D形状計測の使い分けと複数顕微鏡によるリンケージ機能を用いた解析事例のご紹介
講演者 株式会社日立ハイテク コアテクノロジー＆ソリューション事業統括本部 CTシステム製品本部 CTソリューション開発部　柳川 香織
概要 各顕微鏡（SEM/AFM/白色干渉計）による基本的な表面粗さから顕微鏡リンケージによる装置間クロスチェック分析まで、電子部品や材料開発・品質管理に役立つ3D計測の課題解決ノウハウを紹介します。
関連製品 走査電子顕微鏡（SEM）; 走査型プローブ顕微鏡（AFM/SPM）; ナノ3D光干渉計測システム（CSI）
セミナー開催日 2023/09/06(水)
公開日(yyyy/㎜/dd) 2023/12/20
講演時間 約25分
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