サイト名称 日立ハイテク

半開放型セルを用いた5kPa環境下におけるその場STEM/SEM観察

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セミナー種別 材料解析テクノフォーラム
講演タイトル 半開放型セルを用いた5kPa環境下におけるその場STEM/SEM観察
講演者 株式会社日立ハイテク
概要 その場観察は実動作環境に近い環境下で微細構造変化をリアルタイムに捉えられる手法です。差動排気型ガス導入その場観察技術を基盤に、隔膜セル型による高圧環境下観察を検討しました。半開放型セルその場観察技術を開発し、5 kPaの高圧下においてSE検出とSTEM観察を両立した事例を紹介します。

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関連製品 集束イオンビーム; 透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
セミナー開催日 2026/07/22(水)
公開日(yyyy/㎜/dd) 2026/10/14
講演時間 約16分
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