サイト名称 日立ハイテク

SEM+AFMリンケージによるナノ粒子計測

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セミナー種別 AFMソリューションセミナー; 活用事例（アプリ）セミナー
講演タイトル SEM+AFMリンケージによるナノ粒子計測
講演者 株式会社日立製作所 研究開発グループ 橋詰 富博
概要 微粒子の3次元形状をAFM（原子間力顕微鏡）で計測する場合、孤立分散状態が実現できるのが理想的である。表面修飾基板キットを用いると、複数の表面修飾による相互作用が期待され、種々の微粒子に適応できる。AFM計測では、計測場所を特定するための予備計測が律速になる場合がある。SEM（走査型電子顕微鏡）で迅速に計測場所を決め、SEMとAFMでリンケージ計測して相補的な情報を得ることは、重要な計測手法となると期待される。これらの手法についての応用例を紹介する。
関連製品 走査電子顕微鏡（SEM）; 走査型プローブ顕微鏡（AFM/SPM）
セミナー開催日 2018/10/19(金)
公開日(yyyy/㎜/dd) 2019/01/09
講演時間 約30分
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