サイト名称 日立ハイテク

【一歩先行く実用的ナノ構造・物性評価法】AFM/SPMでできること！更にSEMやFIBを組み合わせてできること！

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セミナー種別 新技術セミナー
講演タイトル 【一歩先行く実用的ナノ構造・物性評価法】AFM/SPMでできること！更にSEMやFIBを組み合わせてできること！
講演者 株式会社日立ハイテクノロジーズ 解析ソリューション開発部　山岡 武博
概要 半導体2Dキャリア分布（半定量）計測の新手法、SEM観察“後!”の高品質SPM物性評価、FIB-SEMを利用したSPM物性解析等、様々な材料・デバイス解析のヒントになるケース・スタディを紹介します。
関連製品 走査電子顕微鏡（SEM）; 集束イオンビーム; 走査型プローブ顕微鏡（AFM/SPM）
セミナー開催日 2019/09/05(木)
公開日(yyyy/㎜/dd) 2019/10/31
講演時間 約40分
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