サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：FT160hによるCu上のNi/Pd/Au3層膜の測定

タイトル FT160hによるCu上のNi/Pd/Au3層膜の測定
詳細リンク XRF No.131
概要 Ni/Pd/Au 3層膜は、リードフレームやプリント基板などで使われています。AuやPdには数～十数nmのものも多く、これらの膜の厚さを高精度で測定し管理することが広く行われています。このような測定では薄い膜から発生した蛍光X線を高感度で得るために、集光型光学系と半導体検出器の組み合わせが必要です。本資料では、FT160hを用いた微小領域におけるCu上の薄いNi/Pd/Au 3層膜について、その測定性能を評価しましたので紹介します。
関連リンク（製品）
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 材料
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2025/08/08
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No. XRF No.131