サイト名称 日立ハイテク

タイトル FT160によるSiウェハ/Alめっきの膜厚分析
詳細リンク XRF No.117
概要 測定対象に軽元素(アルミニウム)を含む試料について分析値の繰返し再現性を調べました。膜の厚みに対しては薄膜ファンダメンタルパラメータ(FP)法を用いて算出しました。尚、これは分析事例であり、装置の性能を保証するものではありません。
関連リンク(製品)
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2021/03/01
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No. XRF No.117