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FT160によるSiウェハ/Alめっきの膜厚分析
アプリケーション:FT160によるSiウェハ/Alめっきの膜厚分析
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タイトル
FT160によるSiウェハ/Alめっきの膜厚分析
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XRF No.117
概要
測定対象に軽元素(アルミニウム)を含む試料について分析値の繰返し再現性を調べました。膜の厚みに対しては薄膜ファンダメンタルパラメータ(FP)法を用いて算出しました。尚、これは分析事例であり、装置の性能を保証するものではありません。
関連リンク(製品)
蛍光X線膜厚計 FT160シリーズ
製品中分類
膜厚測定装置
研究大分野
・材料
・エネルギー
研究中分野
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別
テクニカルレポート
発行日
2021/03/01
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No.
XRF No.117
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