サイト名称 日立ハイテク

タイトル FT160hによるCu上のNiめっき/Auめっきの膜厚分析
詳細リンク XRF No.120
概要 Auめっき/無電解NiめっきはFPC・FR・Al・Cu・PTFE基板等に自動ラインで量産されています。今回、Cu上のさまざまな厚さのAuめっき/Niめっきの試料についてFT160hで10 sと60 sの測定を行い、相対標準偏差(RSD)の比較を行いました。層の厚さは薄膜ファンダメンタルパラメータ(FP)法を用いて算出しました。
関連リンク(製品)
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2021/06/01
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No. XRF No.120