サイト名称 日立ハイテク

タイトル EA6000VXによる無電解ニッケルめっき膜厚とリン成分分析
詳細リンク XRF No.91
概要 無電解ニッケル(ニッケル-リン合金)めっきでは、リンの含有率によりめっきの特性が異なります。 そのため、めっきの膜厚分析だけでなく、リン含有量の分析も重要になります。大気雰囲気でリンの蛍光X線を高感度で検出するためには、高感度な半導体検出器が必要となります。当社では、EA6000VXはこのようなご要望に対応可能なVortex®検出器を搭載し、またHeパージ雰囲気にも対応していることから高感度蛍光X線測定が可能です。X線の照射径を調整するコリメータは□0.2 mm、□0.5 mm、□1.2 mm、□3.0 mmを搭載しており。様々な形状やサイズのサンプルに対して最適なX線照射径を選択することができます。本資料では、EA6000VXを用いて銅上の無電解ニッケルの膜厚とリンの含有量を同時に分析した例を紹介します。コリメータサイズはもっとも小さな□0.2 mmとバランスのとれた1.2 mmの2種類で測定を行いました。
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2016/01/01
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No. XRF No.91