| 概要 |
無電解ニッケル（ニッケル-リン合金）めっきでは、リンの含有率によりめっきの特性が異なります。 そのため、めっきの膜厚分析だけでなく、リン含有量の分析も重要になります。大気雰囲気でリンの蛍光Ｘ線を高感度で検出するためには、高感度な半導体検出器が必要となります。当社では、EA6000VXはこのようなご要望に対応可能なVortex®検出器を搭載し、またHeパージ雰囲気にも対応していることから高感度蛍光X線測定が可能です。X線の照射径を調整するコリメータは□0.2 mm、□0.5 mm、□1.2 mm、□3.0 mmを搭載しており。様々な形状やサイズのサンプルに対して最適なX線照射径を選択することができます。本資料では、EA6000VXを用いて銅上の無電解ニッケルの膜厚とリンの含有量を同時に分析した例を紹介します。コリメータサイズはもっとも小さな□0.2 mmとバランスのとれた1.2 mmの2種類で測定を行いました。 |
