| 概要 |
Au/Pd/Ni 3層膜は、リードフレームやプリント基板などで使われています。AuやPdには数～十数nmのものも多く、これらの膜の厚さを高精度で測定し、管理することが広く行われています。このような測定では薄い膜から発生した蛍光Ｘ線を高感度で得るために、集光型光学系と半導体検出器の組み合わせが必要です。当社ではFT9500/FT9500Xシリーズにより、このような測定ニーズに対応してきました。この度、新しい集光型光学系と進化したVortex®検出器を搭載したFT150シリーズをリリースし、より高精度な測定を実現しました。本資料では、FT150を用いた微小領域におけるCu素地上の薄いAu/Pd/Ni 3層膜について、その測定性能を評価しましたので紹介します。また、FT9500Xでも測定し、結果を比較しました。 |
