サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：蛍光X線膜厚計　FT150　－ソフトウエア概要－

タイトル 蛍光X線膜厚計　FT150　－ソフトウエア概要－
詳細リンク XRF No.82
概要 蛍光X線膜厚計は、電子部品等のめっきや半導体プロセスにおける薄膜、および自動車部品の各種工業製品の表面皮膜など、膜厚管理を高速で容易に行える分析装置として広く利用されています。FT150は、ポリキャピラリを用いた照射径30 μmの高輝度X線ビームにより、リードフレームや微小コネクタ、フレキシブル基板等の微小極薄膜の高精度分析評価に最適な装置です。本資料ではFT150のソフトウエアの概要をご紹介します。
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2015/02/01
お問い合わせ先 お問い合わせはこちら
No. XRF No.82