| 概要 |
蛍光X線膜厚計は、電子部品等のめっきや半導体プロセスにおける薄膜、および自動車部品の各種工業製品の表面皮膜など、膜厚管理を高速で容易に行える分析装置として広く利用されています。FT150は、ポリキャピラリを用いた照射径30 μmの高輝度X線ビームにより、リードフレームや微小コネクタ、フレキシブル基板等の微小極薄膜の高精度分析評価に最適な装置です。
◆ X線ビームや検出器の最適化により、従来比2倍のスループットを実現 （当社従来製品 FT9550X比）
◆ 装置デザインを一新し、試料室へのアクセスや測定箇所の確認が容易になり、操作性を大幅に向上
◆ 微小部のSnやAgなどの高エネルギー元素測定にも対応できる専用のX線発生系を搭載したFT150hをラインナップ
◆ 新開発ソフトウェア「XRFコントローラ」により、ユーザー管理の設定、操作ナビゲーションや大型アイコンによる操作性の向上、およびデータベースによる総合的なデータ管理が可能
本資料ではFT150のハードウエアの概要をご紹介します。 |
