| 概要 |
フレキシブル基板は樹脂フィルムの上に薄い膜を付けた曲げられる基板であり、軽量化・小型化が進むエレクトロニクス製品で広く使用されています。蛍光Ｘ線膜厚計では、Cu薄膜上のAu/Ni 2層めっきやAu/Pd/Ni 3層めっきの測定がよく行われております。近年、素地であるCu層の厚さが9 μmや12 μmという薄いものも出てきており、そのような基板ではCuを含めて同時に測定を行いたいという要望が出てきています。本資料では、フレキシブル基板に見立てた疑似試料を用意して、FT9500XによるAu/Pd/Ni/Cuの4層同時測定を行った事例についてご紹介いたします。なお、これは測定例であり、装置の性能を保証するものではありません。 |
