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FT9500Xアプリケーションデータ③
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FT9500Xアプリケーションデータ③
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XRF No.47
概要
測定対象に軽元素(アルミニウム、リン)を含む試料についてFT9500Xと従来機FT9500との繰返し性の比較を行いました。膜の厚みに対しては薄膜ファンダメンタルパラメータ(FP)法を用いて算出しました。尚、これは分析事例であり、装置の性能を保証するものではありません。
製品中分類
膜厚測定装置
研究大分野
・材料
・エネルギー
研究中分野
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別
テクニカルレポート
発行日
2012/03/01
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No.
XRF No.47
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