サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：極微小部に対応した蛍光X線膜厚計FT9500Xの紹介

タイトル 極微小部に対応した蛍光X線膜厚計FT9500Xの紹介
詳細リンク XRF No.43
概要 100 μm程度の領域の数nmオーダーの厚さのAuめっきやPdめっきを高精度で測定したいというニーズに応えるために、当社は高性能蛍光Ｘ線膜厚計FT9500シリーズを2006年より提供してきました。しかしながら、ここ数年、100 μmよりもさらに小さい領域について高精度で測定をしたいというニーズが高まっています。そこで、FT9500シリーズをより進化させた装置としてFT9500Xシリーズを新たに開発しました。本報では、FT9500Xシリーズの特長と測定事例について紹介します。
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2012/02/01
お問い合わせ先 お問い合わせはこちら
No. XRF No.43