サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：高分子薄膜の膜厚分析

タイトル 高分子薄膜の膜厚分析
詳細リンク XRF No.40
概要 レジスト膜などの高分子薄膜は軽元素で構成されるため、蛍光X線分析装置では薄膜の成分の蛍光X線を直接検出して膜厚分析することが困難です。このような場合、膜下の素材から発生する蛍光X線強度に着目した「吸収法」を用いることで膜厚分析できます。本報告では、シリコンウェハ上のレジスト膜厚分析例として、シリコンウェハ上に市販のポリエチレンテレフタレート（PET）薄膜をのせた擬似サンプルの分析例を紹介します。
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2011/11/01
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No. XRF No.40