サイト名称 日立ハイテク

タイトル EA6000VXによるAu/Pd/Ni 3層膜厚測定
詳細リンク XRF No.36
概要 EA6000VXによるAu/Pd/Ni3層膜厚測定の性能を紹介します。
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2011/09/01
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No. XRF No.36