サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：FT110のオートフォーカス機能

タイトル FT110のオートフォーカス機能
詳細リンク XRF No.31
概要
  • 凹凸のある試料（高低差が80 mm以下）でも、平らな試料同様に測定することが可能です。
  • オートフォーカス機能により、焦点合わせの時間を大幅に短縮し作業性を向上させました。
  • オートフォーカス機能の使用時は、焦点距離に応じて分析した膜厚の補正が自動的に行なわれます。
  • オートフォーカス時間は3秒以内であり、迅速な測定が可能です。
関連リンク（製品）
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・電気
・電池
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2011/09/01
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No. XRF No.31