| 概要 |
液晶パネルや太陽電池向けの透明導電膜として広く使用されているITO（酸化インジウムスズ）膜は、導電性と光の透過を両立させる必要があり、その膜厚の管理が重要です。EA6000VXは、管球－試料－検出器間の配置を最適化し、高計数率検出器Vortexを採用することで、InやSnの蛍光Ｘ線検出感度が向上しました。これにより、従来の上面照射型のエネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置では測定困難なITO膜の膜厚分析が可能になりました。尚、本報で用いた薄膜ファンダメンタルパラメータ（FP）法は最大5層の膜厚・組成同時分析が可能です。 |
