サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：極薄膜Au/Pdめっきの高精度測定事例

タイトル 極薄膜Au/Pdめっきの高精度測定事例
詳細リンク XRF No.14
概要
  • X線発生部に集光光学系（ポリキャピラリ）を採用して、一次X線の高密度化を実現しました。
  • 検出器には高分解能・高計数率の半導体検出器を採用しました。
  • 電子冷却タイプの半導体検出器であるため、液化窒素の補充が一切不要です。
  • nmオーダーのめっき膜厚測定にも非破壊・非接触で対応可能です。
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・化学・化成品
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・石油化学品
・高分子・タイヤ・ゴム
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2009/07/01
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No. XRF No.14