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2層めっき膜厚測定と断面観察による検証
アプリケーション:2層めっき膜厚測定と断面観察による検証
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タイトル
2層めっき膜厚測定と断面観察による検証
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XRF No.12
概要
Siウェハー上のCu/Cr 2層めっきについて、FT9500による膜厚測定結果と、ナノ加工顕微鏡システムSMI500による断面観察結果を比較検証しました。
2つの測定手法によるほぼ同等レベルの膜厚結果が得られ、膜厚測定によるデータの信頼性が向上しました。
FT9500による膜厚測定では、非常に短時間で、繰り返し精度の良い測定が実現可能です。
製品中分類
膜厚測定装置
研究大分野
・材料
・化学・化成品
研究中分野
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・石油化学品
・高分子・タイヤ・ゴム
情報種別
テクニカルレポート
発行日
2009/05/01
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XRF No.12
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一般の方および日本国外の医療関係者への情報提供を目的としたものではありませんのでご了承ください。