サイト名称 日立ハイテク

タイトル 2層めっき膜厚測定と断面観察による検証
詳細リンク XRF No.12
概要
  • Siウェハー上のCu/Cr 2層めっきについて、FT9500による膜厚測定結果と、ナノ加工顕微鏡システムSMI500による断面観察結果を比較検証しました。
  • 2つの測定手法によるほぼ同等レベルの膜厚結果が得られ、膜厚測定によるデータの信頼性が向上しました。
  • FT9500による膜厚測定では、非常に短時間で、繰り返し精度の良い測定が実現可能です。
製品中分類 膜厚測定装置
研究大分野 ・材料
・化学・化成品
研究中分野 ・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・石油化学品
・高分子・タイヤ・ゴム
情報種別 テクニカルレポート
発行日 2009/05/01
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No. XRF No.12