サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：FE-SEM SU8000における極低加速電圧観察とその応用（930KB）

タイトル FE-SEM SU8000における極低加速電圧観察とその応用（930KB）
詳細リンク SEM143
概要 FE-SEM SU8000（以下SU8000）では、リターディング機能と複数の検出器を用いることで、試料極表面の様々な試料情報を捉えることができます。これにより電子ビームのダメージを受けやすいソフトマテリアルにおいても多角的な評価が可能となりました。本稿では、リターディング観察時の電位コントラストや微小ステップ構造の観察例を紹介します。
製品中分類 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2011/02/01
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No. SEM143