サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：FE-SEM　SU8000における検出信号の多様性とその応用（399KB）

タイトル FE-SEM　SU8000における検出信号の多様性とその応用（399KB）
詳細リンク SEM141
概要 FE-SEM　SU8000（以下SU8000）では、複数の検出器を用いて、多様な信号を検出することができます。これにより、試料の表面構造や組成などの様々な試料情報を捉えて、多角的に試料を評価することが可能となりました。本稿では、SU8000に搭載された複数の検出器で検出される反射電子や二次電子記号を用いた観察例を紹介します。
キーワード：走査電子顕微鏡、高分解能観察、Top検出器、高角度散乱反射電子、HA-BSE、結晶コントラスト、組成コントラスト、低角度散乱反射電子、LA-…
製品中分類 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2010/07/01
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No. SEM141