| 概要 |
FIB（Focused Ion Beam：集束イオンビーム）加工観察装置は、TEM薄膜試料の作製装置として、半導体デバイス、金属、セラミックスなど多くの先端材料に利用されています。最近は、半導体デバイスの微細化や新機能材料におけるナノレベルでの構造制御に伴い、FIBを用いた薄膜試料の作製において、高位置精度での高速加工がますます重要になってきています。そのようなニーズへの対応として高速加工装置として定評のあるFIBと高性能SEM（Scanning Electron Microscope：走査電子顕微鏡）を… |
