サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：複合材料評価のための低真空低加速電圧観察 (664KB)

タイトル 複合材料評価のための低真空低加速電圧観察 (664KB)
詳細リンク SEM132
概要 S-3400N/S-3700Nに搭載した新型半導体反射電子検出器は、①検出素子の高感度化、②薄型化による短いWD（ワーキングディスタンス：WD）での観察が可能となり、低真空低加速電圧領域における性能が向上しました。
　今回はこの新形半導体検出器の特長と絶縁材料を含む複合材料の観察例について紹介します。
キーワード：新型反射電子検出器,低真空低加速電圧,入射電子,反射電子,組成コントラスト
製品中分類 走査電子顕微鏡（SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2008/02/01
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No. SEM132