サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：SU-70形走査電子顕微鏡の特長と応用 (1,443KB)

タイトル SU-70形走査電子顕微鏡の特長と応用 (1,443KB)
詳細リンク SEM134
概要 SU-70形走査電子顕微鏡（以下、SU-70）は、新開発大電流対応ショットキーエミッション電子銃と新型対物レンズの搭載により、超高分解能観察と大電流を要する各種文政の両立が可能なSEMです。今回は、この装置の主な特長と応用例を紹介します。
キーワード：高分解能SEM,SE/BSE信号制御機能,リターディング機能,STEM像,フィールドフリーモード,大電流,EDX,WDX,EBSD
製品中分類 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2009/12/01
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No. SEM134