概要 |
透過電子顕微鏡(TEM:Transmission Electron Microscope)と電子エネルギー損失分光法(EELS:Electron Energy Loss Spectroscopy) を組み合わせたTEMEELSは、半導体の故障解析や材料研究分野において広く利用されています。EELSにおいて高精度に元素や化学結合状態の分析を行うためには、高いエネルギー分解能が必要です。このエネルギー分解能は主に電子銃によるエネルギーの広がりで決まります。HF-3300は、冷陰極電界放出形電子銃(Cold F… |