サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：位置分解型EELS法を用いた積層膜の高精度分析（904KB）

タイトル 位置分解型EELS法を用いた積層膜の高精度分析（904KB）
詳細リンク TEM133
概要 透過電子顕微鏡（TEM：Transmission Electron Microscope）と電子エネルギー損失分光法（EELS：Electron Energy Loss Spectroscopy） を組み合わせたTEMEELSは、半導体の故障解析や材料研究分野において広く利用されています。EELSにおいて高精度に元素や化学結合状態の分析を行うためには、高いエネルギー分解能が必要です。このエネルギー分解能は主に電子銃によるエネルギーの広がりで決まります。HF-3300は、冷陰極電界放出形電子銃（Cold F…
製品中分類 透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2008/09/01
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No. TEM133