Hitachi

サイト名称 日立ハイテクノロジーズ

タイトル 球面収差補正つき200kV走査透過電子顕微鏡とその応用(1)(1,216KB)
詳細リンク STEM010
概要 ナノテクノロジー研究の材料解析手段の一つとして、走査透過電子顕微鏡(STEM: Scanning Transmission Electron Microscope)が用いられています。今回、球面収差補正器を組み込んだSTEM HD-2700を開発しました。これにより、分解能と分析性能を同時に向上させることが可能となりました。ここでは、その装置性能と応用例を紹介します。

キーワード:走査透過電子顕微鏡,STEM,6極子型球面収差補正器(Cs-c…
製品中分類 透過電子顕微鏡(TEM/STEM)
研究大分野
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2008/02/01
No. STEM010