タイトル | 球面収差補正つき200kV走査透過電子顕微鏡とその応用(1)(1,216KB) |
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詳細リンク | STEM010 |
概要 | ナノテクノロジー研究の材料解析手段の一つとして、走査透過電子顕微鏡(STEM: Scanning Transmission Electron Microscope)が用いられています。今回、球面収差補正器を組み込んだSTEM HD-2700を開発しました。これにより、分解能と分析性能を同時に向上させることが可能となりました。ここでは、その装置性能と応用例を紹介します。 キーワード:走査透過電子顕微鏡,STEM,6極子型球面収差補正器(Cs-c… |
製品中分類 | 透過電子顕微鏡(TEM/STEM) |
研究大分野 | |
研究中分野 | ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル ・金属・磁性材料 ・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明 ・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶 ・電気 ・電池 |
情報種別 | テクニカルデータ/データシート |
発行日 | 2008/02/01 |
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No. | STEM010 |