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アプリケーション:HD-2700/NB5000を用いたLSIデバイスの観察(393KB)
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タイトル
HD-2700/NB5000を用いたLSIデバイスの観察(393KB)
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STEM015
概要
LSIデバイスの微細化が進むにつれ,高い計測精度を持つ解析技術が必要になっています。現在の解析ターゲットは原子レベルでの膜厚計測や組成分析と言われています。ここでは球面収差補正機能を搭載した走査透過電子顕微鏡(STEM:Scanning transmission Electron Microscope)HD-2700を用いた最新LSIデバイスの観察例について紹介します。
キーワード:STEM,HAADF-STEM,球面収差補正機能,PMOS,…
製品中分類
透過電子顕微鏡(TEM/STEM)
研究大分野
・材料
・エネルギー
研究中分野
・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別
テクニカルデータ/データシート
発行日
2010/03/01
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No.
STEM015
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