タイトル | HD-2700/NB5000を用いたLSIデバイスの観察(393KB) |
---|---|
詳細リンク | STEM015 |
概要 | LSIデバイスの微細化が進むにつれ,高い計測精度を持つ解析技術が必要になっています。現在の解析ターゲットは原子レベルでの膜厚計測や組成分析と言われています。ここでは球面収差補正機能を搭載した走査透過電子顕微鏡(STEM:Scanning transmission Electron Microscope)HD-2700を用いた最新LSIデバイスの観察例について紹介します。 キーワード:STEM,HAADF-STEM,球面収差補正機能,PMOS,… |
製品中分類 | 透過電子顕微鏡(TEM/STEM) |
研究大分野 | |
研究中分野 | ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル ・金属・磁性材料 ・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明 ・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶 ・電気 ・電池 |
情報種別 | テクニカルデータ/データシート |
発行日 | 2010/03/01 |
お問い合わせ先 | お問い合わせはこちら |
No. | STEM015 |