サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：球面収差補正機能付きHD-2700を用いた高分解能SEM観察（500KB）

タイトル 球面収差補正機能付きHD-2700を用いた高分解能SEM観察（500KB）
詳細リンク STEM017
概要 走査透過電子顕微鏡（STEM：Scanning Transmission Electron Microscope）HD-2700は二次電子検出器を有し、その分解能は収差補正機能の併用により原子レベルに達しています。本稿では、球面収差補正機能付きHD-2700を用いた高分解能SEM観察例を紹介します。

キーワード：SEM,走査透過電子顕微鏡,STEM,球面収差補正,Csコレクタ,原子カラム,BF-STEM,ADF-STEM,Au,Si,BaTi…
製品中分類 透過電子顕微鏡（TEM/STEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2010/10/01
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No. STEM017