概要 |
120kV汎用型TEM HT7700の走査透過像観察装置(以下、STEM)では明視野(BF)STEM像および暗視野(DF)STEM像を取得することができます。STEM像はTEM像と比較して色収差の影響を受けにくいため厚い試料の観察に有効です。また、BF?STEM像では回折コントラストを含め明視野TEM像と同様なコントラストを、DF-STEM像では原子番号効果を活用した組成コントラストを得ることができます。このようにHT7700ではTEM機能に加え、多種の信号検出により多角的な観察が可能です。
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