サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：FE-SEM SU8200シリーズの特長と応用 （565KB）

タイトル FE-SEM SU8200シリーズの特長と応用 （565KB）
詳細リンク SEM151
概要 セミインレンズ方式の対物レンズを備えたSU8220形、SU8230形、SU8240形（以下、SU8200シリーズ）走査電子顕微鏡では、電子銃や信号検出系の高性能化が図られ、低加速電圧での超高分解能観察や各種分析が可能になりました。今回は、SU8200シリーズの主な特長と応用例を紹介します。

キーワード：SU8200シリーズ,SE/BSE信号制御機能,SEM,LA－BSE,HA－BSE,Topフィルタ機能,リターディング機能,セミインレンズ,超…
製品中分類 電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2014/03/03
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No. SEM151