サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：SU3500における高感度低真空検出器（UVD）の特長と応用

タイトル SU3500における高感度低真空検出器（UVD）の特長と応用
詳細リンク SEM154
概要
日立走査電子顕微鏡 SU3500（図１）は、新設計した電子光学系により、極表面の微細形状観察や観察試料のダメージ軽減に有効な低加速電圧領域の像分解能を向上しています。また、新開発の画像信号処理技術により、高コントラスト画像の表示を可能にしています。
低真空観察においては、試料室真空度を広範囲（6～650 Pa）に設定できるようにしたことと、新開発の高感度低真空検出器（Ultra Variable-pressure Detector：UVD）＊1…
製品中分類 走査電子顕微鏡（SEM）
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2014/07/15
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No. SEM154