サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：EガスとAutoBitmapソフトウェアを用いたLSI平坦化加工テクニック

タイトル EガスとAutoBitmapソフトウェアを用いたLSI平坦化加工テクニック
詳細リンク APPLICATION_SMI_001
概要 EガスとAutoBitmapソフトウェアを用いたLSI平坦化加工テクニックについて紹介します。
製品中分類 集束イオンビーム
研究大分野 ・材料
・エネルギー
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2006/04/01
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