Hitachi

サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：ナノピンセットシステムによるTEM観察用試料のIn-situ試料ハンドリング

タイトル ナノピンセットシステムによるTEM観察用試料のIn-situ試料ハンドリング
詳細リンク APPLICATION_SMI_010
概要 集束イオンビーム装置の重要なアプリケーションの一つとして、半導体集積回路の高分解能TEM観察用薄片試料（以下、TEM試料）作製があります。近年、デバイスの微細化に伴い、TEM観察の必要性がますます高まっています。そのため、操作性が良く、しかもスループットの高いTEM試料の取り出し技術が要望されています。
当社は、その解決策として、ナノピンセットシステム（以下、本システム）を開発し、XVisionシリーズに搭載しました。「連続TEM試料自動仕上げ加工ソフトウェア 連続A-TEM…
製品中分類 集束イオンビーム
研究大分野
研究中分野 ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル
・金属・磁性材料
・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明
・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶
・電気
・電池
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2010/06/01
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