タイトル | ナノピンセットシステムによるTEM観察用試料のIn-situ試料ハンドリング |
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詳細リンク | APPLICATION_SMI_010 |
概要 | 集束イオンビーム装置の重要なアプリケーションの一つとして、半導体集積回路の高分解能TEM観察用薄片試料(以下、TEM試料)作製があります。近年、デバイスの微細化に伴い、TEM観察の必要性がますます高まっています。そのため、操作性が良く、しかもスループットの高いTEM試料の取り出し技術が要望されています。 当社は、その解決策として、ナノピンセットシステム(以下、本システム)を開発し、XVisionシリーズに搭載しました。「連続TEM試料自動仕上げ加工ソフトウェア 連続A-TEM… |
製品中分類 | 集束イオンビーム |
研究大分野 | |
研究中分野 | ・セラミックス・ガラス・鉱物・バイオミネラル ・金属・磁性材料 ・半導体材料・デバイス・電子部品・ディスプレイ・照明 ・ナノ材料・触媒・電池材料・複合材料・膜結晶 ・電気 ・電池 |
情報種別 | テクニカルデータ/データシート |
発行日 | 2010/06/01 |
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No. | APPLICATION_SMI_010 |