サイト名称 日立ハイテク

アプリケーション：IM4000PLUSによる高ビーム耐性マスクを用いた超硬材の断面加工

タイトル IM4000PLUSによる高ビーム耐性マスクを用いた超硬材の断面加工
詳細リンク HTD-SEM-025
概要 ミリングレートを向上させたIM4000PLUSは加工レートが速いのと同時にマスクの消耗が激しいため2時間以上の連続加工は困難と考えられていました。そこで、IM4000PLUSでも2時間以上の連続加工を得るために、高ビーム耐性マスクをオプションに加えることで、広領域の断面加工と標準のTiマスクに比べて約2倍の連続加工が可能となりました。
製品中分類 ・電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）
・TEM/SEM試料前処理装置
研究大分野 材料
研究中分野 金属・磁性材料
情報種別 テクニカルデータ/データシート
発行日 2016/12/26
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No. HTD-SEM-025