| 概要 |
SEMは1965年の製品化以来めざましい進歩を遂げてきました。最近では、電子光学系の改良を合わせて、PC搭載によるGUI環境下での操作性向上と機能拡張が図られています。S-4700形FE-SEMは1kＶで2.5nmとIn-Lens FE-SEM並みの高分解能を実現したことに加えて、Windows95、NT上にSEM操作機能が構築されており、「PCの操作感覚で使える高分解能SEM」のコンセプトのもとに開発されました。今回は、半導体、磁気デバイスプロセス評価をはじめ、材料、生物分野へのS-4700の応用例について紹介します。
キーワード：高分解能SEM,PC-SEM,BSE像,STEM像,EDX分析 |
