| 概要 |
Natural SEM（低真空SEM）は、試料室圧力を観察目的に応じて低真空（1～270Pa）および高真空（約10-4Pa）に設定でき、絶縁物試料や含水／含油試料をそのまま観察可能なことから様々な分野でその活用が期待されています。最近では、反射電子検出器の性能向上により、低加速電圧においても高い分解能の反射電子像が得られるようになり、また二次電子を加速して残留ガス分子と衝突させ、その電離作用を応用したガス増幅型二次電子検出器が実用化され、低真空SEMの応用範囲が大きく拡大されました。ここでは、図1に示す吸収電流検出方式のガス増幅型二次電子検出器（以下ESED： Environmental Secondary Electron Detector）を備えたNatural SEMによる電子材料/デバイスの観察例を紹介します。
キーワード：低真空SEM,ESED,二次電子,反射電子,吸収電流,CSP,BGA,フラットミリング,HSG構造 |
