| 概要 |
Natural SEM（低真空SEM）は、絶縁物試料や含水試料の前処理を省略して迅速に観察／分析をおこなうことができることから、幅広い分野で利用されています。最近では、反射電子検出器の改良により低加速電圧／低真空条件下での反射電子像観察が可能になるとともに、吸収電流検出方式低真空雰囲気二次電子検出器（ESED： Environmental Secondary Electron Detector）が製品化されてt、Natural SEMの応用範囲が一層広がりつつあります。ここではESEDを備えたNatural SEMの原理といくつかの観察例を紹介します。
キーワード：低真空SEM,ESED,吸収電流検出方式,バイアス電極,残留ガス分子,イオン化,（＋）イオン,低真空二次電子像 |
