| 概要 |
パソコンや携帯電話などに見られる、エレクトロニクス製品の生産ラインでの歩留まりを向上させるには、不良原因の早急な道程が必要不可欠となっています。そのため、走査電子顕微鏡（SEM）を用いて観察・分析を行う場合、試料前処理なしで迅速に実施することが要求されています。一方、ナチュラルSEMの低真空観察法は、電気的な導電性を持たない試料や、水分・油分を含んだ試料においても試料前処理なしで観察できる手法として、主に、生物・香料;食品;農薬;肥料・飼料;で利用されてきました。
今回は、このナチュラルSEMを用いて、各種電子材料の評価を前処理せずに実施しましたので紹介します。
キーワード：電子材料、低真空観察、絶縁物試料、無処理 |
