| 概要 |
電界放出形走査電子顕微鏡（FE-SEM）は、さまざまなプロセスにおいて外観評価、異物分析、寸法計測などを行うツールとして、広く利用されています。しかしながら、半導体デバイスの高集積化に伴ってプロセスへの新技術導入（Cu配線、ArFエキシマレーザ露光など）が進められており、それらを迅速に評価するための新しい超高分解能FE-SEMの開発が急がれていました、この様な背景から、図1に示すS-5200形超高分解能FE-SEM（以下、S-5200）が開発されました。
S-5200は、1)新型超高分解能対物レンズの採用、2)耐振性の強化、3)コンタミネーションの低減により分解能0.5nm（at 30kV）という世界最高の分解能（2001年8月 現在）を実現しました。さらに、二次電子情報（凹凸）や反射電子情報（組成）を任意に選択可能な信号検出モードを搭載し、評価目的に応じた像コントラストを迅速に再現可能となりました。ここでは、S-5200の機能・性能といくつかの応用例を信号検出モードの活用についてご紹介します。
キーワード：超高分解能SEM,シグナル可変モード,低加速反射電子モード |
