| 概要 |
近年、走査電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、以下SEM）は、試料形態の高分解能観察に加え、大電流でかつ安定なプローブを要するカソードルミネッセンス法（Cathodeluminescence、以下CL法）やEBSP法（Electron Back-Scatter diffraction Pattern）と組み合わせた分析ニーズが増加傾向にあります。そのようなニーズに応えるためS-4300SE形SEMが製品化されました。図1にS-4300SEの外観を示しますが、CL検出器、EBSP検出器、EDX等との組み合わせにより様々な分野での活用が可能になります。
今回はS-4300SE形SEMの特長およびCL解析システム、EBSP解析システムによるいくつかの応用例について紹介します。
キーワード：ショットキー電子銃,大プローブ電流,高ビーム電流安定,高分解能,CL,EBSP |
