| 概要 |
走査電子顕微鏡（以下、SEM）を用いた低加速電圧STEM法は、その散乱能の高さから試料構造の微小な密度差や組成差を明暗のコントラストとして検出可能です。そのため高分子材料の無染色による組織構造観察に、以前からこの手法が利用されています。最近では、FIB加工装置の普及により、半導体分野においても試料内部の情報を得るため、この低加速STEM法の活用が増加傾向にあります。一方、生物組織試料の観察はTEMを用いた観察が主体となっております。
そこで今回、図1に示す超高分解能SEMのS-5200にSTEM検出器を装着し、生物組織観察を優れたコントラストで観察できるか検証し、また無染色試料の観察及びX線分析も試みましたので、ご紹介します。
キーワード：低加速電圧STEM法、元素マッピング,ヒト皮膚,ヒト腎臓、,アデノウィルス |
