概要 |
低真空形走査電子顕微鏡は、試料室内の圧力を高くすることによって、非導電性試料や含水試料の観察を可能にしたものです。これによって、固定・脱水・乾燥・蒸着といった前処理を省き、手軽にSEM観察が出来ます。日立では、Natural-SEM、(以下N-SEM)の名称で販売しています。 N-SEMでは、真空度を1~270Paの範囲で設定できるので、試料に適した真空度で観察が可能です。しかし、低真空下にあっても水との蒸気圧に大差があるため、含水試料の長時間観察では、収縮などの変形が生じてしまいます。 そのため、試料温度を下げ、水との蒸気圧を試料室圧力に近づけて長時間観察を可能にしたのが、クールステージです。(図1) 今回は、このクールステージを使用して、N-SEM条件下の長時間観察や、N-SEM条件では難しい試料について観察を試みましたので紹介します。
キーワード:Natural SEM,クールナチュラル像,チルド帯温度観察,水分蒸発軽減 |