| 概要 |
リターディングとは試料に負電圧（リターディング電圧：Vd）を印加し、電子銃で加速した電子ビームを試料直前で減速させる手法です。図1に示すように電子銃の加速電圧（Vacc）で加速された電子ビームは試料と対物レンズの間の減速電界で減速され、最終加速電圧（Vi）に相当するエネルギーで試料に照射されます。このときViは（Vacc－Vd）で与えられます。
S-4800形FE-SEMにリターディング機能を装着すると（オプション）、最終加速電圧（Vi）を100Vまで下げることができ、ビームダメージの低減や試料の最表面構造観察が実現できます。今回は、この機能を用いた先端材料への応用例を紹介します。
キーワード：高分解能SEM,リターディング機能,低加速電圧観察,極低加速電圧 |
