概要 |
近年半導体デバイスの微細化が進み、品質管理やデバイス特性解析に高解像度の走査電子顕微鏡(SEM)解析技術が必要となっています。半導体デバイスは軽元素・重元素が混在する構造が多く、暗視野STEM(DF-STEM)による観察では試料の組成に合せて検出立体核を制御する必要があります。今回は、検出立体角の制御が可能なDuo-STEM機能(オプション)を用いたS-5500形FE-SEMによる半導体材料の観察例を紹介します。
キーワード:SEM,STEM,Duo-STEM検出器,検出立体核,半導体,Cu配線,SRAM,組成コントラスト |