| 概要 |
S-5500形FE-SEMはインレンズタイプFE-SEMの特長である物質表面の超高分解能観察に加えて、Duo-STEM検出器（オプション）による物質内部の超高分解能観察が可能です。Duo-STEM検出器は明視野STEM（BF-STEM）用の検出器、暗視野STEM（DF-STEM）用の検出器から構成されます。特に、DF-STEM像観察において、検出立体核を制御することにより必要な情報を高コントラストで取得できるようになりました。今回は、Duo-STEM検出器の特長とナノ材料への応用例について紹介します。
キーワード：SEM,STEM,Duo-STEM検出器,検出立体核,ナノ材料,Pt/Ru担持カーボン,カーボンナノチューブ,組成コントラスト,回折コントラスト,触媒 |
